TSMC, Samsung, Intel 'đặt cược' tương lai vào một cỗ máy nặng 150 tấn, giá tương đương một chiếc Boeing 777

Máy quang khắc cực tím (EUV) có khẩu độ số cao (High-NA) của ASML là thiết bị sản xuất chip đắt đỏ nhất thế giới, mức giá khoảng 407 triệu USD.